内容导读：

      P-12XLm 和P-8XLm是分别用于300mm和200mm的晶圆探针，他们与两个系列已有的型号软件兼容。P-12XLm有一个光学系统，提高用于晶园测试小尺寸产品中小pitch，一个极微小直径的探针卡用来测试小尺寸产品，一个新的装货设备提高产能。P-8XLm同时也拥有顶级的光学系统，并且在测试高性能下一代技术时，显示了极好的性能。200 mm晶园探针的选择包括55-150°C温度范围和三轴卡盘的低电流测量。
Tokyo Electron Ltd., www.tel.com

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来源:半导体国际 作者: 时间:2005/3/8 0:00:00