“产业链的建设，要进入快速发展渠道，必须解决零部件本土化的问题。”信息产业部电子信息产品管理司王勃华巡视员在SEMICON China 2008期间举办的“第三届半导体设备及零部件本土化与本土化采购高层研讨会”上表示。目前，中芯国际、Applied Materials等制造与设备公司都在加大本土零部件的采购力度，这无疑是中国本土零部件公司的巨大商机。但何处是切入点，如何进入设备公司与fab厂，这些都是零部件厂商面临的实际问题。

本土化是提高设备性价比的重要途径
本土设备厂商和本土零部件供应链正在迅速崛起。中微和北方微电子都做出了300mm 65nm的设备，并且已经在客户端认证。其他本土厂商的200mm设备也已在中芯国际、华虹NEC、宏力使用，有些设备还走出国门，进入日本、韩国等亚洲市场。而这些本土设备所使用的零部件有些在数量上已经达到80％的本土化，有些则在成本上做到60％的本土化。本土零部件的产业链在芯片厂、本土和国际设备公司、以及二手设备的推动下正迅速形成。

中国在研发和开发方面的劳动力成本和国外的差距不是非常大，零部件的本地化才最为关键，只有这样才能把成本降下。零部件本土化已然成为国内设备提高自身性价比的一个最重要的途径。

这一途径不仅适用于本土设备，对国际设备同样适用，并且国际设备厂商已经开始行动了。据应用材料AGS全球产品管理部Richard Aquino介绍，去年应用材料全球供应链的使用量一半以上还在美国，而到2010年应材的亚洲供应链将以2.5倍的速度成长，占其全球供应链的75％以上。中国目前已经成为应材在亚洲区域采购的领头羊，占到整个亚洲使用量的半壁江山（50％）。

本土化的切入点
300mm晶圆非常重而且昂贵，人工搬运很危险，而且对产能、效率、良率都不利，而自动化设备恰好扮演了必不可少的晶圆传输的功能。台湾东升应材的Ted Hsiao在讲述台湾本土化的切入点时表示，台湾本土化就是从自动化设备切入的，因为自动化设备不需要工艺设备那么高的要求。工艺设备要求之所以高是因为在真空条件下，所有的材料零部件需要很长时间去做验证，并涉及很多专利，非常不容易突破，自动化设备反倒是本土化的一个非常好的切入点。

中芯国际的杨政宁介绍，Fab的需求其实很简单，需要供应商提供品质、良率、快速响应及成本的效益。中芯国际一个月的零件使用量约为1000万美金，其中有20％的零部件不是来自于原厂。而这20％里面有10％是本土公司在做，但只是维修。杨政宁说有很多不接触晶圆的零部件还是可以做的，而接触晶圆的零部件在越尖端的foundry厂，碰到的阻力越大，而且阻力往往来自foundry的客户。杨政宁建议本土零部件供应商可以和设备厂商合作，因为设备商有完整的实验室，可以测试、实验、加工、量测，然后给予认证，这样对客户而言更为可信。Ted也表示台湾有很多为应用材料做外包的公司，很多公司从学习中慢慢壮大自己。从10年前到现在，每家公司的规模都扩大了2-3倍以上。

本土厂商该如何进入供应链
圆桌论坛上FITIFoxSemicon的Steve Lin分享了供应商该做什么准备以逐渐进入本土供应链的经验。客户对于供应商的选择有相当多的要求，其实是有标准来帮助供应商做自我检验。很多厂商都是使用SSQA这样一种结构化的评核制度，通过对产品自身的品质管理系统（类似于ISO9001）和客户需求两方面结合评估。评分通过对管理层承诺、系统方式、执行、结果这样一个非常系统化的评分来评定厂商的水平，细分化的评分结果可以帮助供应商持续改善。Steve介绍通过ISO9001和ISO14001在SSQA的评分表里仅能拿到4分，很多北美厂商目标都至少达到6分。

同样谈到标准，北方微电子的赵晋荣表示，整机要符合各种国际标准，那么所有的元器件也要符合相应的标准。通过3C标准的元器件只能卖到低端，但要用在高端，则需要进一步的认证。赵晋荣说，北方微电子用了很多电源，质量非常好，但就是没有认证，因此最终就不能使用。本土厂商对这些元器件的需求量目前还不大，但品种繁多，如果每样器件都要设备商出资去帮供应商做认证，显然对设备商来说是额外的负担，所以本土设备商目前只能暂时选择国外的供应商。

资金是个坎
沈阳科仪的姜谦谈到，中国目前已经有很多合格的供应商可供挑选，但规模都还很小，而且面临着资金短缺的问题。那么做机加工不一定有清洗能力，不一定有表面处理能力，不一定能控制原材料的来源。如果一个零部件要分好几块去做，个中的协调、效率都会受到很大的影响。姜谦说，本土供应链的形成需要资源共享，把设备商所知道的要求多和供应商沟通。有合格的供应商尽量把信息分享给同业，让供应商在投资初期就明确他会有很好的回报。可能的话，在资金上也能够支持供应商。

设备商在培育本土供应商的同时，自身也面临着挑战。姜谦说，有一小部分国外的供应商，卖到国内的零部件价格是国际价格的3倍。姜谦表示希望这小部分国外供应商诚恳、平等对待国内的厂商。

把握政策环境
如何发展本土半导体产业？科技部高新技术发展及产业化司戴国强副司长说，中国要融入到全球的产业发展中去，而融入过程中，最简单的切入点就是零部件。半导体产业发展节奏非常快，零部件的不断进化可以为产业提供快速的支撑。要跟上产业发展的节奏，零部件的生产、设计、制造能力就要超过产业发展，超过装备的发展进程，通过零部件的发展推动整个装备业的发展。

王勃华说，要利用好市场环境和政策环境。科技重大专项今年肯定要实施，其他的国务院振兴制造装备的文件，配套的有关进口税收政策文件，信息产业部的“十一五”规划，电子专用设备的专项规划，都将集成电路发展纳入重点。从宏观政策环境来说，国家的支持、地方政府的支撑，都将有利于产业的发展。