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ST将展示新型MEMS微型驱动机构 |
| 发布时间:2001年9月14日 点击次数:9 |
| 来源:中电网 作者: |
ST的 MEMS 微驱动机构基于一种静电驱动方法,它通过给定子和转子施加电压从而引起转子进行角转动。与电磁驱动对比,ST静电解决方案避免了在磁盘表面产生磁场。此外,这种设计还通过确保高度线性简化了驱动器软件。因为这一结构特点,这种设计具有内在的抗震性,并允许在设计阶段选择谐振频率。 |
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