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TSMC晶圆冲压密封技术达到量产要求

发布时间:2001年4月24日 点击次数:6
来源:中电网   作者:
 
中国台湾省半导体制造公司TSMC的晶圆冲压密封技术(wafer bumping)达到量产要求,从而成为第一个可提供晶圆冲压密封服务的生产厂。TSMC的冲压密封设备于去年11月建成,具有月处理15000片晶圆的生产能力。晶圆冲压密封技术是在芯片还处于晶圆形式时对芯片进行封装的先进封装技术。由于集成度的提高和片上系统设计的流行,倒装片封装可减少器件尺寸、允许设置更多I/O引脚并提高系统总体性能。晶圆冲压缓冲密封技术就是所需要的新的I/O集成方法。TSMC已采用这一技术进行了其技术伙伴Altera公司产品的量产试验。TSMC提供的服务包括冲压密封、冲压后晶圆分类、I/O盘再分配、SPICE模型模拟服务等,并提供后端装配分包管理。



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