尼康仪器（上海）有限公司展出的产品将有外观检查装置OPTISTATION、OVERLAY检查装置NRM及自动MACRO检查装置AMI。
　　外观检查装置Optisation在全世界有着2000台以上的销售实绩，在中国国内也受到很多用户的爱戴。OVERLAY检查装置NRM，不用说它的高性能，在能简便制作RECIPE的机能等应用方面也有着很大的优势。还有自动MACRO检查装置AMI，能用180UM PROCESS以下，人眼看不到的DEFOCAS、COATING ERROR在150WPH以上的HIGH THROUGHPUT检测。
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