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BOC EDWARDS为中国FAB提供集成解决方案 |
| 发布时间:2004年1月22日 点击次数:427 |
| 来源:半导体国际 作者: |
目前有超过30种化学试剂和研磨浆系统可以提供给中国客户,包括大批量化学试剂输送、试剂混合,iSISTM2000研磨浆混合和分配系统以及 ChemControlTM可调控制系统等。BOC Edwards在中国已拥有10个主要半导体制造客户,主要集中于上海和北京 。 |
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目前,半导体工业都采用铝或铜作为芯片内连线。但是,NASA Ames研究中心的研究人员却有另外一个的想法:用碳纳米管代替铜或铝作为芯片内连线。碳纳米管是一种圆柱形的富勒烯(cylindrical fullerenes),由于它具有超凡的机械性能和独特的电性能,包括不寻常的电流传导能力而特别引人注目。 在一系列实验中,多壁碳纳米管(multi-walled carbon nanotubes,MWCNTs)表现出很好的稳定性。例如,在温度250°C和电流密度1010A/cm2 的条件下,350小时后MWCNTs尚未出现受损现象。现在的主要问题是如何在半导体制造中使用这种新材料。在碳纳米管...... 您需要什么电子制造设备?
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