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JSR Micro向Sokudo购买RF3型圆片轨道传送系统 |
| 发布时间:2006年8月21日 点击次数:497 |
| 来源:SEMI 作者: |
据Reed-Electronics网站报道,日本东京JSR Corporation在美国的运行处JSR Micro Inc.近期宣布,公司已经向Sokudo Co., Ltd.购买了RF3型圆片轨道传送系统,以提高公司的制造生产能力。JSR Micro预期RF3型设备将于本年第四季度实现交货。 Sokudo的300mm RF3轨道传送系统最初是为65nm和45nm提供state-of-the-art能力所制造的。同时RF3被应用于先进的ArF研发、多层材料、化学紧缩材料等。
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