 |
 |
 导航:老古开发网首页→文章索引→文章分类→新闻热点→[Photronics加速投产90纳米光刻掩膜板]
|
| | -文章搜索 - 最新文章 - | |
Photronics加速投产90纳米光刻掩膜板 |
| 发布时间:2002年3月21日 点击次数:9 |
| 来源:中电网 作者: |
Photronics的新型光刻掩膜系列将为市场带来多种新型芯片产品,但该公司与其竞争对手一样,在90纳米光刻掩膜板reticle(注：单一衬底图层中一个或几个裸片的组合)方面,都面临着一些严峻挑战。有分析家表示,光刻掩膜板成本现在已经失控,预计每套0.09微米光刻掩膜板成本将达200万美元;与此相比,0.13微米设计中空白光刻掩膜板每套仅为65万美元。 Photronics计划推出的光刻掩膜板涵盖三种基本类型：NanoRange、ePhase和tPhase。该公司的官员透露,NanoRange是其标准二元光刻掩膜板(Binary Reticle),而ePhase和tPhase基于相移(phase-shift)技术,用于尺寸小于曝光光刻波长的器件。ePhase应用“软性”或变薄的相移光刻掩膜板,而tPhase则基于“硬性”或是交互的相移技术。 |
|
|
|
 欢迎进入老古论坛进行讨论
[新闻热点] 相关文章:  美国2月电子元件订单大增30%简介:
经过长达一年的不断下滑之后，2月电子元件订单终于止跌回升。随着美国经济好转，越来越多的元件供应商报告称OEM需求上升。 电子元件、组装与材料协会(ECA)近日在报告中表示，2月元件订单指数比去年同期上升了30%以上。ECA没有提供具体的数据。 ECA认为激励电子元件订单增长的因素为：OEM的元件需求上升，撤单数量下降，新产品和新技术推出速度加快。 ECA董事长Glyndwr Smith表示：“2月订单率上升，订货情况稳中有升，撤单数量减少，市场对新产品和新技术兴趣增大，而政府的财政状况亦有所改善，所有这些将促使今年下半年销售情况好转。” 但ECA谨慎认为，现在预言上述上...... 2001年我国集成电路市场情况
AMD台式机芯片市场份额增至22%
飞利浦与ARM将闪存嵌入RISC处理器
2001年我国半导体行业运行情况
Hynix半导体有望实现扭亏为盈
NEC、东芝和富士通统一SRAM芯片标准
IDC:今年全球PC销量将增加3%
德州仪器与微软联合推出2.5G手机参考设计
富士通推出8芯片超高密度堆栈型MCP |
|
|
|
下一个:
上一个: