据EE Times网站报道，皇家飞利浦电子近日宣布已将半导体测量设备业务的多数股份出售给JHW Greentree Capital 私人资产公司，这家公司准备借此进入半导体设备市场。

飞利浦电子处于战略考虑，才将其旗下的Philips Advanced Metrology Systems股份售出，但是飞利浦将会保留在新公司的投资者身份。

Philips AMS曾是飞利浦电子独资业务，基于麻省理工学院的技术许可1996年由Active Impulse Systems Inc.初创成立，1998年被飞利浦电子收购，2002年飞利浦成立了AMS作为独立的业务单元。

AMS主要制造高产量，非接触性的金属薄膜厚度测量工具，用于先进半导体制程中以及互连层的在线监控，公司的核心使命是开发Cu/低k电介质的互连计量解决方案。业务售出后ASM也将继续为半导体制造厂商提供先进的测量解决方案。

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