据Air Products公司网站报道,Air Products公司近日表示,该公司计划在韩国蔚山建造三氟化氮（NF3）工厂以满足韩国本土快速增长的半导体和液晶显示器市场对于NF3的需求。

第一阶段,新厂计划到2007年底前实现产量500公吨的目标,约占Air Products公司NF3年产量2500公吨的20%的目标。

三氟化氮在半导体、平板显示器和其它电子产品的制造中被用作一种室内清洗气。较之其他产品,三氟化氮为客户提供排放量显著减少、产量增加高达30%、室内寿命更长以及清洗速度更快的产品。

此次Air Products公司工厂将是该公司对继去年投产超高纯度氨工厂之后在蔚山进行的第二次投资。这家工厂弥补了在 Shiwha工业园、Banwol工业园、天安 (Cheonan) 和平泽 (Pyeongtaek) 的其它韩国 ESM 工厂的不足。

相关链接（英文）：http://www.airproducts.com/PressRoom/CompanyNews/Archived/2006/04Oct06.htm