KLA-Tencor新型暗场探测设备生产能力翻倍

据Semiconductor Reporter网站报道，KLA-Tencor Inc.近期发布了Puma系列产品的最新成员，该产品相比于上一代Puma 9000系列，在相同或更高的灵敏度下，设备生产能力提高了100%。

设计用于实现缺陷低成本检测的Puma 91xx系列，该暗场图形化圆片检测系统在检测速率、灵敏度以及应用于65nm和45nm节点的其他方面有了重大改进。

多套Puma 91xx系列系统已经交付于先进的逻辑、DRAM和闪存代工厂，用于产品在线检测，KLA-Tencor表示，以安装的KLA-Tencor Puma 9000系统可以通过升级以实现91xx系列的性能。