作者: 彭晔

从黄石公园到大峡谷,忠实而准点喷发平均高达130英尺、大概14层楼高的Old Faithful喷泉,绵延277英里,平均深达7000英尺的大峡谷让我感受到了美国山水的魅力。

经过一个星期紧张的SEMICON West采访和工作之后,美国的山水不仅让我放松,而且也体验到了美国的文化,对美国人或是西方人有了新的认识。

美国人的祖先主要是拓荒者,因此从内心深处他们希望和喜欢创新;美国虽然只有200多年的历史,但对历史的珍爱却从对拥有100年历史的建筑的推崇和赞美之词中可以让人感受;美国人的实际也可以体现在对大自然的诠释方面,峡谷巨石之上的两块独立而高耸的小石被称作盐和胡椒,换作中国早就会被冠以维美的人物和故事。

正因为有了创新和实际的精神,世界第一个芯片能够在美国诞生,而我在拥有世界SEMICON美誉的SEMICON West上,也总能够看到大大小小的创新理念和已实用化的新产品。

不知有多少中国工程师听说过Alis公司的名字,采用He离子源的显微镜在这里发明。与传统SEM相比,He离子显微镜的呈像效果在立体感和不同材料显示灰度方面有非常明显的优势。该技术的创始人Bill Ward创办了Alis公司,并在SEMICON West期间推出了首台实用化的LookingGlass LG-2设备。

初见Replisaurus公司的CTO Patrik Moller,让我不敢相信眼前的这位似乎只有30岁的先生拥有CTO的头衔。作为电化学复制方法制备纳米水平金属层的发明者,他用最简单的类似模版印刷的方法低成本的实现了500nm铜图形电镀。而这项发明在资本的支持下正在从实验室走进量产。

在KLA-Tencor举办的未来技术和挑战论坛上,Intel的Mario Paniccia博士介绍了硅光电技术的最新进展。自1980年证明了采用硅片可以实现光传输技术以来,Intel不懈地在这一领域投入资金和研发力量。到2005年,硅片上的光传输已达到了10G的水平,与GaAs、InP等化合物半导体相当,而光电功能和CPU、存储等模块集成的芯片也已成功推出。也许正是这种对新鲜事物不懈追求的精神让Intel能够在过去的30年中保持世界半导体前5的位置。

同样,在ALD市场2006年只有1.8亿美元的情况下,Aviza却通过媒体、Panel Discussion等形式为其ALD技术和设备摇旗呐喊。更重要的是Aviza早已开始了与Air Liquide、SEZ等相关的材料和设备厂商合作,共同促进这项拥有巨大市场潜力技术的升级和推广。

进入纳米时代的半导体工艺技术不得不注意“细节”,因为肉眼看不见的缺陷随时可能对成品率造成极大的伤害。Entegris作为半导体工艺材料传输和清洗领域的主导公司之一,也在跟随技术的发展推出更新的产品,如LiquidLens UPW浸入式光刻超纯水的净化系统。Advanced Energy对MFC精益求精的态度体现在不断推出的系列新品方面,对气流阀门设计的一个革新,可能带来反应速度、气流稳定性的提高。

SEMICON West回来不久,我陪一位老外游北京。看到出土的7000年前中国最早的乐器埙和不用一颗钉子的宏伟宫殿,听到最早的长城可以追溯到春秋战国,吃着老北京炸酱面,欣赏着变脸和京剧,他在感慨中国的文化和历史。正是千年的文化底蕴形成了中国的文明历史,文明古国在辉煌时期也有着无数影响世界的伟大发明。在现代社会,我们需要做的其实只是传承——传承千年文化的精髓——了解世界,追上世界的脚步,同时去探索更广、更精细的领域,并且用行动去实现梦想。