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缺陷检测技术 |
| 发布时间:2003年9月30日 点击次数:488 |
| 来源:半导体国际 作者: |
 C-DIC圆偏振光微分干涉对比技术为半导体和MEMS工业提供了更加有效的缺陷检测方法。C-DIC的棱镜被安插在显微镜的补偿器支架上,位于圆偏光器之间,不需考虑主轴的方向问题。 Carl Zeiss www.zeiss.com |
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