eS30系统是业界第一个电子束检测工具，专门用于芯片量产时电路缺陷的在线监控。该系统完全沿袭了被广泛采用的eS20XP 系列，而在生产力、灵敏度和图形分辨能力等性能方面却改善了2倍之多，同时用户还能够实时地对缺陷进行分类并及时了解各类缺陷的发展趋势。这些先进的功能，连同其关键的拥有成本改善，使得eS30成为优化的检测平台，能够被应用于IC技术生命周期中各个阶段。
　　KLA-Tencor   www.kla-tenkor.com