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联电90纳米铜制造技术量产
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联电宣布,顺利运用90纳米铜制造技术为客户代工产出芯片,使联电成为第一家跨入90纳米铜制造量产的晶圆代工业者。这是联电跨足晶圆代工业以来,制造技术首次超越台积电。台积电90纳米低介质 (Low K)及铜制造技术除自行研发外,也与飞利浦、意法半导体、摩托罗拉、巨积及NEC联合开发,将于今年上半年导入12寸晶圆厂,预计明年首计量产。
来源:中电网 作者: 2003/4/3 0:00:00
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