英飞凌于三月底公布与中芯国际签约的讯息,将移转○.一一微米的DRAM技术及十二寸晶圆厂相关技术予中芯,且中芯正在北京的十二寸厂,未来也将有一万五千片的产能为英飞凌生产DRAM。近日半导体界传出,中芯北京厂将购入至少四台的日本佳能(Canon)光刻设备,与中芯上海厂主要使用的光刻设备品牌ASML大不相同,显示中芯全力相迎英飞凌的盛情。 光刻设备是半导体工艺中的灵魂硬件,功能如同照相机,是晶圆厂中单价最高的设备,十二寸晶圆制造世代开始,光刻设备价格更一举冲上千万美元。目前全球半导体光刻设备市场大致由日本尼康(Nikon)、佳能及荷兰ASML三分天下。
