台积电今天表示，台积电0.13微米工艺技术及量产规模领先全球，成熟的0.13微米量产技术将有助于90纳米制程进行芯片开发与认证，预计在今年第3季开始可以更具生产经济效益的12寸晶圆为客户进行量产。 台积电在先进的0.13微米制程技术及量产规模上缔造新的里程碑。台积电表示，目前已有230多个客户产品使用该工艺进行生产，总出货量超过10万片八寸晶圆约当量。其中在关键的0.13微米低介电系数（low-k dielectric）工艺技术方面，台积电也是业界第一家成功通过多家客户产品认证并进行量产的公司。 台积电在2001年第4季率先使用90纳米工艺技术，试产出静态随机存取存储器（SRAM）。