根据VLSI Research发布的报告，2002年度半导体设备市场规模比前一年度缩减24.6%，其中晶圆处理设备下跌的幅度最大，达28.2%；测试与相关设备缩减24.5%；装配设备缩减23.7%。由于2001年半导体设备市场已较2000年减少了34.7%(其中装配设备下跌55%，测试与相关设备下跌42.5%，晶圆处理设备下跌30%)，再看2002年的这些数字应可感受到该市场近年来面临的困境。

逻辑IC测试系统市场去年规模为1亿9430万美元，Schlumberger的子公司 NPTest，占有35%的市场；其次是日本的Yokogawa Electric，占有率为30%；排名第三的是Credence Systems，占有15%。存储器测试市场规模为6亿5280万美元，日本的Advantest主宰该市场，占有率为40%；其次为Agilent Technologies，占有25%；Ando Electric排名第三，占有10%。混合讯号、线性、离散测试市场规模为3亿5410万美元，Yokogawa占有其中30%；其次为Credence与Advantest ，分别占有15%。系统单芯片测试市场规模为9亿2720万美元，Teradyne执该市场牛耳，占有率高达40%；其次为Agilent，占有25%；LTX排名第三，占有率为10%。

在front end领域，KLA-Tencor主宰规模高达28亿美元的程序诊断设备市场中的40%，其次为10%的 Applied Materials与5%的Hitachi High Technologies。蚀刻工具市场规模为35亿美元，排名攀升至第一位的ASML占有其中45%；其次为Nikon，占有率为25%；Canon为20%。光罩生产设备市场规模为2亿9770万美元，Applied Materials占有25%；其次为JEOL，占有25%；再其次为Micronic Laser Systems AB，占有15%的市场。 CMP(chemical mechanical planarization)市场为7亿6860万美元，相较于前一年度的12亿美元；Applied Materials的占有率高达60%；Ebara排名第二位，占有20%；其次为Novellus Systems收购的SpeedFam-IPEC，占有10%。ion implant市场规模为6亿8070万美元，三家业者均分了这个市场；其中Varian Semi Equipment占有30%，而Applied Materials与Axcelis Technologies分别占有25%。