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根据VLSI Research发布的报告,2002年度半导体设备市场规模比前一年度缩减24.6%,其中晶圆处理设备下跌的幅度最大,达28.2%;测试与相关设备缩减24.5%;装配设备缩减23.7%。由于2001年半导体设备市场已较2000年减少了34.7%(其中装配设备下跌55%,测试与相关设备下跌42.5%,晶圆处理设备下跌30%),再看2002年的这些数字应可感受到该市场近年来面临的困境。
逻辑IC测试系统市场去年规模为1亿9430万美元,Schlumberger的子公司 NPTest,占有35%的市场;其次是日本的Yokogawa Electric,占有率为30%;排名第三的是Credence Systems,占有15%。存储器测试市场规模为6亿5280万美元,日本的Advantest主宰该市场,占有率为40%;其次为Agilent Technologies,占有25%;Ando Electric排名第三,占有10%。混合讯号、线性、离散测试市场规模为3亿5410万美元,Yokogawa占有其中30%;其次为Credence与Advantest ,分别占有15%。系统单芯片测试市场规模为9亿2720万美元,Teradyne执该市场牛耳,占有率高达40%;其次为Agilent,占有25%;LTX排名第三,占有率为10%。
在front end领域,KLA-Tencor主宰规模高达28亿美元的程序诊断设备市场中的40%,其次为10%的 Applied Materials与5%的Hitachi High Technologies。蚀刻工具市场规模为35亿美元,排名攀升至第一位的ASML占有其中45%;其次为Nikon,占有率为25%;Canon为20%。光罩生产设备市场规模为2亿9770万美元,Applied Materials占有25%;其次为JEOL,占有25%;再其次为Micronic Laser Systems AB,占有15%的市场。 CMP(chemical mechanical planarization)市场为7亿6860万美元,相较于前一年度的12亿美元;Applied Materials的占有率高达60%;Ebara排名第二位,占有20%;其次为Novellus Systems收购的SpeedFam-IPEC,占有10%。ion implant市场规模为6亿8070万美元,三家业者均分了这个市场;其中Varian Semi Equipment占有30%,而Applied Materials与Axcelis Technologies分别占有25%。
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