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SOITEC与ASM开发sSOI 解决方案

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Soitec公司和ASM International N.V.公司日前共同宣布:结成战略合作伙伴关系,以确保sSOI (应变的绝缘体上硅芯片)基板的商业制造。

根据合作协议,Soitec 和 ASM公司将充分整合Soitec 的专利 Smart Cut技术以及ASM的制造系统,Epsilon 3000晶体外延反应堆,研发出可以用于量产的sSOI基板解决方案。该协议使得Soitec和 ASM 以往的协作得以延伸,即利用ASM屡获得嘉奖的垂直反应堆Advance 400系列生产Soitec 的300mm UNIBOND SOI晶圆。sSOI 将会被用于65纳米的器件的生产,而且,在器件速度、功率损耗以及封装密度等方面可获得重大的突破。

此番合作将有效利用Soitec 的SOI基板和ASM的晶体外延反应堆及工艺,加速用于200mm和300mm半导体基板的sSOI的产业化。
来源:中电网   作者:  2003/5/28 0:00:00
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