VLSI研究机构的最新数据表明，五月份，全球半导体设备订单-交付率从四月份的0.97下滑至0.95，半导体制造设备市场持续疲软。

该研究机构称，这是连续第4个月订单-交付率低于1.00。在此之前，VLSI研究机构削减了它对2003年芯片及制造设备市场的预计。上个月，该机构预计2003年IC市场将比2002年增长9.3%，达到1318亿美元。制造设备市场预计在2003年将达到313亿美元，比上年增长5.6%。该机构已经至少一次调低了它的预计数据。今年初，它预计半导体及制造设备市场在2003年将分别增长11%和6%。

这个数据与其它研究机构的数据不同。来自IN的数据表明，除了光刻部分以外，前端半导体设备在经历了严重的低迷后将渐渐复苏，整个前端半导体设备市场在2003年将增长7.3%。
    
但是也有迹象表明制造设备的订单-交付率在6月份可望达到0.97，交付产品总额有望达到26.45亿美元，定单总额将达25.62美元。