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ASML新设备可制造更小芯片

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荷兰电子芯片设备制造商ASML推出最新的平版印刷工具,这种工具能够制造出更薄的电路和更小的芯片,让该公司取得领先日本对手的优势。

平版印刷机器能在硅晶圆上安排电路,是芯片制造过程中的核心。这种机器每台平均售价1000万欧元(1,200万美元),但最先进的产品价格还要更贵。

新型ASML机器名为Twinscan XT:1400,可以大量制造薄至65纳米的带电路芯片,比能大量制造70纳米等级产品的XT:1250型机器更加先进。

这种新型设备将在2004年12月出货,它还可以升级,以用于‘潮湿’半导体生产。这种制程将液体注入镜片与硅晶圆之间,以提升焦点的深度和解析度。
来源:中电网   作者:  2004/4/22 0:00:00
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