日前，据IEEE称，国际半导体设备和材料(SEMI)组织及电子电气工程学会(IEEE)最近达成一致，互相支持对方的项目，以创建纳米技术和MEMS(微机电系统)标准。

两家组织将签署一项谅解备忘录，这标志着双方之间展开的首次标准合作，IEEE表示，预计这也将成为双方更广泛和长期合作的开端。

在纳米技术和MEMS领域，SEMI预计将着眼于材料、工具和接口，而IEEE标准将处理测试方法、材料、器件、互操作性和其它主题。