本次调查结果是来自对芯片制造商4565次调查,受访制造商的产量总和约占全球产量的95％。每家设备供应商在13项指标中进行排名,包括设备性能和客服等。以下是十佳供应商排名：

　　这些前十名的设备商由装配、材料处理、工艺诊断、测试和晶圆处理设备厂商通过统一评分而产生。

　　小型芯片制造设备供应商

　　Keithley Instruments今年摘得小型芯片制造设备供应商桂冠,在7项评分中获得了最高分,其中设备运行时间获得了最高得分。排名第二的Hamamatsu Photonics在吞吐量和结果质量两项中拔得头筹,排名第三的SEN Corporation在工艺支持和零部件支持两项中名列前茅。Inovys Corporation在拥有者成本和软件方面获得最高评分。去年排名第一的Orthodyne以8.08分名列第五。

　　小型芯片制造设备供应商排名历来竞争非常激烈,今年前十名在8个项目上平均得分超过8.0。平均来看,客户对软件的评分最低,其次是拥有者成本、工艺支持和零部件支持。和去年相比,小型芯片制造设备供应商在技术领导力上进步最大。此项增加了0.55分,从倒数第二升至第二。

　　大型芯片制造设备供应商

　　Varian连续第三年摘得大型芯片制造设备供应商排名桂冠,它在13项评分中,有10项获得了最高分。Novellus紧随其后,在拥有者成本方面排名第一。第三名Advantest在设备运行时间上排名第一,ASML在技术领导力方面排名第一。ASM International排名第五。

　　大型芯片制造设备供应商再一次被小型供应商所超越,大型供应商在各项评分中得分都比较低,没有一项平均得分超过8.0。这不足为奇,因为客户往往对大型供应商有更高的预期,因此评分较为苛刻。评分项中表现较好的是设备运行时间、结果质量和吞吐量,而拥有者成本、软件和工艺支持得分较低。

　　大型芯片制造设备供应商前十名是从15家销售额最大的芯片制造设备商中评选而出。小型供应商是指前15家以外的设备商。

　　以下是2007年十佳小型和大型芯片制造设备供应商排名。