Therma-Wave获得Tokyo-Electron高级关键尺寸测量应用的复合系统订单

Therma-Wave公司是制程控制测量系统设备中需要用到的半导体开发、制造及销售公司宣布Tokyo Electron Limited(TEL)再次下单订购多套Therma-Wave集成化测量工具。Therma-Wave的高级INTEGRAR CCD-i关键尺寸(CD)测量工具将配合TEL CLEAN TRACK ACT TM与CLEAN TRACKTM．LITHIUSTM涂装／显影机使用，进行90nm与65nm技术的深度开发与生产。

去年末，Therma-Wave与TEL宣布将共同致力于CD测量技术的开发及产品制造，以期满足这一区域不断增长的客户需要以及蓬勃发展的市场机遇。

本文摘自《半导体技术》