东芝的12英寸晶圆厂采用ASYST自动化解决方案系统

Asyst技术公司宣布，东芝位于日本大分县新建的12时晶圆厂已决定采用Asyst公司之“表现级晶圆厂自动化架构”o这套架构结合了Asyst简称为AMHS的自动化物质处理系统、大气装载埠、射频识别追踪系统，以及自动优化软件及其服务，可提供东芝整合晶圆厂自动化解决方案。

本文摘自《半导体技术》