中国上海——诺发系统有限公司(NovellusSystems,Inc.，)与上海复旦大学签订协议，联合成立一个集成电路制互连工艺技术研究中心。为了让先进产品运转的更快及节省热量，今日最领先半导体制造公司正在转用铜互连将晶片上的半导体连接起来。在半导体行业中，诺发公司的高级淀积、表层准备、化学机械抛光等方面的设备，在生产力以及科研创新都占了全球领先的地位。“复旦-Novellus互连研究中心”配备有一整套诺发公司捐赠的集成电路铜互连工艺设备，这套设备将成为国内铜互连工艺的研究中心，为复旦大学，其他高校和研究所的研究人员以及本地区的工业界提供服务。

本文摘自《半导体技术》