产品说明：

磁性度量系统MRW3是以MRW200平台为架构,能够测量产品晶圆中HDD读写头以及磁电阻式随机存取内存(MRAM)的磁性质,以利生产控制并可尽早侦测到对于良率有不利影响的制程问题。MRW3利用了封闭环磁系统,提供了优异的磁场重复性(低于0.1厄斯特),但是却不会牺牲其效能优势,每个电阻/磁场转换曲线比低于1秒。

MRW3系统整合了特别的功能以加速此一重要新技术的开发,包括定压电子和位切换测试。此外,MRW3也引进了例如GEM/SECS工厂自动化的特色,高可靠性(1000小时MTBF)与200与300毫米的双重配置,使其成为可立即用于晶圆厂的准静态检验系统。