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适用于Agilent B1500A半导体器件分析仪的下一代EasyEXPERT参数分析软件

发布时间:2006年3月30日 点击次数:631
来源:今日电子   作者:
 
 生产商:安捷伦科技有限公司 Agilent Technologies, Inc.

 产品说明:

EasyEXPERT 2.0参数分析软件为半导体器件表征提供直观和面向任务的方法。它可用于在非生产应用中,如工艺流程开发、建模、可靠性和缺陷分析中测试器件。Agilent 还推出了 Desktop EasyEXPERT 2.0,该软件允许用户在基于 MS Windows的PC 上快速和容易地开发应用测试和执行数据分析。用户现在第一次实现了在他们的参数分析仪上和在台式 PC 上运行同样的参数测试软件,从而为实验室和工作台上的参数测试建立无缝的实验室和开发环境。
EasyEXPERT 2.0 所具有的新能力包括新的快测试模式,为Agilent B2200A 和 B2201A 改进的开关矩阵控制功能,以及新的自动数据输出选件。这些特性使从事半导体工艺流程表征和开发的工程师和科学家能通过自动化的方法完成过去许多需要手工执行的任务,如对晶圆的重复测量和用图形方式比较结果而提高效率和降低成本。

到目前为止,EasyEXPERT 还只能在 Agilent B1500A 半导体器件分析仪上使用,它已从 2005年 8月开始出货。对于新发布的EasyEXPERT 2.0,Agilent 将为新的和现有的 Agilent B1500A 客户提供该软件的免费版本 Desktop EasyEXPERT 2.0。 Desktop EasyEXPERT 2.0在基于 MS Windows的PC上运行,使用户能快速和容易地开发应用测试和执行数据分析。由于Desktop EasyEXPERT允许用户把这些功能移到独立的 PC上,因此就能几乎 100% 地利用 B1500A 的测量资源。如果 PC 上已安装 Agilent I/O 库和 GPIB(通用接口总线),那么就可用 Desktop EasyEXPERT 2.0 从外部控制B1500A。

EasyEXPERT 2.0 中新的快速测特性提供高效的自动测试环境,使用户能使用驻存在半自动晶圆片检测器上的晶圆图同步测试序列。这就能加快原来复杂和费时的过程和降低测试成本。EasyEXPERT 2.0 也可改进Agilent B2200A 和 B2201A 开关矩阵的控制功能。使用户能容易地在被测器件(DUT)间切换,以及用快速测试模式自动化模块内的 DUT 选择。用户还能利用新的自动输出能力,对使用交互或快测试模式得到的数据精确选择文件名、数据格式和目标,从而增强数据管理能力。

由于Desktop EasyEXPERT 是在标准 PC 上运行,由此用户能完全控制 PC 的硬件配置和符合公司认定的 IT 标准。预期Desktop EasyEXPERT 的未来版本将支持在半导体工艺流程表征中使用的其他 Agilent 仪器。就像在 B1500A 上驻存的该 EasyEXPERT 版本一样,Desktop EasyEXPERT 支持 GPIB 通信,因此用户能用 GPIB 命令直接控制其他仪器。

除了改进的诸多特性外,EasyEXPERT 2.0 还包括新的转换工具,因此 Agilent 4155 和 4156 半导体参数分析仪的当前用户在升级到 B1500A 时,可把它们的设置文件输入到 EasyEXPERT 环境。这样就可不必重建这些文件,也就能最小化转换成本,使用户能很快开始使用 B1500A。

EasyEXPERT 2.0 预期在 2006年5月1日供货。到那时,现有 B1500A EasyEXPERT 1.0 用户可进入 www.agilent.com/see/B1500A下载免费的软件升级。Desktop EasyEXPERT 原版本也为现有和未来 B1500A 客户免费提供。


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