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科天发布新型光学表面分析系统,具有最宽空间带宽覆盖 |
| 发布时间:2006年9月20日 点击次数:462 |
| 来源:SEMI 作者: |
6300型光学表面分析系统可以提供行业内最宽的空间带宽覆盖,本底噪声低于0.05nm,该公司表示,6300型的多通道光学路结合了激光稳定控制技术,以提高其测试能力。 6300的先进光学扫描技术可以在径向和圆周方向提供全片形貌检测,可以让生产商实现通过一台设备实现全部空间谱的测量,KLA-Tencor表示,6300提供全片、非接触的低成本检测的同时,还具有比探针工具和原子力显微镜(AFM)技术更快的检测速率。该设备将于10月份开始交货。 |
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