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Aviza获得来自台湾多台RVP-300plus系统订单 |
| 发布时间:2006年9月16日 点击次数:619 |
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RVP-300plus是一款300mm圆片的熔炉,可以提供扩散和低压化学气相淀积(LPCVD)制程。该设备具有高速升温和冷却功能,这使得圆片的化学扩散和温度控制的一致性得到了提高,Aviza表示,设备的新型构造同时提高了其生产效率。 Aviza持续的成功保持了其全球热处理市场的领先地位,Aviza热事务部门副总裁与总经理May Su表示,最近来自Inotera的多台设备订单,以及其他RVP-300plus订单表明,全球对于该产品的持续需求。 |
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