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Particle Measuring Systems

发布时间:2006年9月1日 点击次数:234
来源:半导体国际   作者:
 
AirSentry-IMS系统是193纳米污染控制解决方案。设备可以对环境中的氨浓度、酸性气体浓度、颗粒以及光化学有机污染(POC)进行实时监控,其测试精度达到ppb级。通过检测光学霾的构成,工程师能够提前防范污染的产生进而避免损失。设备使用光声光谱学测试技术监控POC和Si-O污染,并能够单独测定甲烷、非甲烷碳氢化合物和硅酮化合物的浓度。
www.pmeasuring.com


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