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MKS Instruments

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传感器集成平台TOOLweb用于数据采集和分析操作。设备能够采集、整合任何数据源的信息并可用于任何对象。它能够无缝整合外部数据或将装配的传感器、设备连接到主机的SECS/HSMS数据流中。主机可以对整合/非整合在设备中的传感器进行操作而不需要改变设备或主机的软件。
www.mksinst.com

来源:半导体国际   作者:  2006/8/8 0:00:00
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