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Aviza Technology宣布其单晶圆ALD系统CelsiorTM得到了来自一台湾主要晶圆代工厂的订单,用于90nm工艺300mmDRAM的量产,这标志着该系统在亚洲的安装数量进一步扩大。CelsiorTM系统结合了Trikon Technology的技术。
Axcelis Technologies宣布其高剂量离子注入机Optima HD再获得Infineon订单,Optima HD也能进行部分中剂量离子注入工艺,可应用于65nm及以上节点,这套系统预计将于今年第四季度出货到Infineon IFD200厂。
Aixtron宣布其整合的ALD和AVDTM技术获得来自亚洲一主要存储器制造商的订单。该技术将用于亚45nmDRAM电容器的量产中高K介电材料的淀积。据悉,设备将于2006年第三季度开始安装。
MATTSON Technology宣布其新近推出的去胶设备Suprema获得Toshiba Corporation的订单。Toshiba计划使用Suprema于亚90纳米NAND闪存器件的制造,该系统已经开始出货。MATTSON同时宣布得到了某韩国存储器制造商在中国的300mm晶圆厂的订单,包括其Aspen III ICPHT 去胶系统、 Aspen III LiteEtch和 Helios RTP系统。
Vistec宣布300mm检测设备LDS3300 C和LDS3300 M拿到一亚洲主要300mm晶圆代工厂订单,LDS3300 C和LDS3300 M分别经过了为期6个月的评估,目前已经开始交货。
Rudolph Technologies宣布其新推出的MetaPULSE-III不透明薄膜量测系统得到一台湾主要晶圆代工厂的订单,主要用于测量工艺中的不透明薄膜和CMP中碟形缺陷和腐蚀的监测。
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稳中有升的需求使半导体设备市场前景看好
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