日前,SUSS MicroTec AG介绍了BlueRay™探针系统的最新创新成果,这个高容量的晶圆探针系统能够每小时测试超过70,000个芯片。它是目前世界上独特的能够现场从半自动升级到全自动的探针系统。

　　由于市场对分立器件的要求,微机电系统（MEMS）、RF和光半导体器件不断增长,生产商需要一个能够满足产量上涨需求的测试系统,同时,他们也需要高效率的测试工艺来适应成本压力和缩短产品上市时间。SUSS适时地把握到这点并提供相应的测试解决方案来满足生产商目前和将来的需求。

　　为了满足日益增长的产量要求,一个独特的晶片处理机械手被引入BlueRay探针系统,一旦完成安装,机械手就可自动处理所有晶片。该系统很灵活,有需要的话,机械手还可拆除并安装到另一个BlueRay系统中。拆装都很迅速并可现场完成,把当机时间缩短到最小。除此之外,测试平台可以从上料到成品进行连续测试,使设备更换成本和资金投入最小化。

　　“BlueRay探针系统是目前可用的非常独特的晶圆级（on-wafer）测试平台,”SUSS MicroTec测试系统国际产品经理Stojan Kanev评价道,“不仅可以使器件生产商高精度和高产量的测试非电产品,还可以提供从上料到成品的通用测试平台。从某种意义上说,它是从实验室到工厂的一个桥梁。”