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氨浓度监控装置 |
| 发布时间:2006年7月21日 点击次数:245 |
| 来源:半导体国际 作者: |
新一代氨浓度监控装置ESP-1000对空气中氨浓度的测试精度能够达到1 ppb量级。高灵敏度的测试精度以及快速响应的优势允许设备能够在光刻区域中针对空气中氨浓度进行即时监控。ESP-1000也能够依靠对采样气体短时间的测量,定性的分析其成分和浓度。这将允许用户在氨浓度影响其产品前,精确地控制区域内的氨浓度。 |
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