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激光光束转换工具 |
| 发布时间:2006年6月28日 点击次数:273 |
| 来源:半导体国际 作者: |
使用激光光束转换模块,可快速、准确地将激光光束从一条通道转向另一条通道。它的特点是：设计了一个50 × 50 mm的大尺寸的光圈,以便直径较大的均质光束能无阻挡、无损失地通过。该模块可用于转换波长较短（157纳米、193纳米或248纳米）的受激态紫外光束。
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