据Semiconductor Reporter消息，科天公司3月8日推出其第五代宽谱紫外/可见光亮场检测系统。该系统将提供更高的灵敏度，和两倍的数据采集速率，帮助芯片制造商更频繁地抽样进行测试，更早地发现制造缺陷。

这套编号为2367的新系统是对科天2800系列全光谱深紫外/紫外/可见光亮场检测平台的补充。这套系统通过一项叫做“mix-and-match”的技术可以大量降低检测成本。

科天的2800系列去年8月份正式推出并开始发售。是目前能提供灵活的超宽带波长范围，并可捕获所有生产率相关缺陷的唯一检测平台。与此相反，窄带或单波长检测技术却只能捕获多器件层中有限范围的缺陷类型，因此在多器件层间出现严重的缺陷沟壑。

目前2367系统系统已有成品出售。

KLA-Tencor为世界著名的专业美资半导体（芯片）设备供货商，公司总部在美国硅谷，于1976年成立。Kla-Tencor于1999年后在中国上海、 天津、北京、苏州成立分公司或办事处。

相关链接（英文）：http://www.semireporter.com/public/12423.cfm