据半导体科技网站报道,日前,半导体设备供应商亚微纳技术公司（Aviza technology）宣布中芯国际订购其RVP 300plus™和RVP 550™热处理系统用于300mm晶圆90-nm DRAM生产。两系统均具有双舟平台,生产能力得到了增强。

RVP 300plus具有全套的常压和低压化学气相淀积流程解决方案,拥有快速升温和降温等功能,能够在整个晶圆上产生统一的化学淀积和温度控制。RVP550的垂直热处理机的设计可满足65nm或以上节点的制程能力和生产要求。具备可变载荷大小、快速温度升降和Aviza的“跨流程”技术等特性。RVP- 550的主要应用包括：低粒子DCS氮化物、用作覆盖层和隔离层的Satin和BTBAS低温氮化物、与晶体取向无关的自由基氧化和选择性氧化。

亚微纳总部位于美国加州。为全球半导体、复合半导体、纳米技术及其它相关市场提供先进半导体设备和工艺技术。其产品涉及从前段到后段的多种设备,包括原子层淀积（atomic layer deposition,ALD）,各种CVD设备,PVD设备和刻蚀设备等。亚微纳全球共有700名员工,在全球安装了近3000套设备。