据Semiconductor reporter网站报道,Evans Analytical Group LLC(EAG)近期宣布已收购Thin Film Analysis Inc.(TFA)公司的营业资产和探测软件。TFA是一个独立的分析实验机构,主要借助于离子束加速技术,包括卢瑟福背散射(Rutherford backscattering RBS)分析、hydrogen forward scattering(HFS)分析也称为forward recoil elastic spectrometry(FRES)分析、离子沟道效应分析,重点进行材料特性的分析。

RBS技术可以提供厚度为5nm到1000nm薄膜的定量组分、厚度、非破坏性的深度仿形,EAG专家Charles Magee说,通过RBS、HFS、NRA(核磁共振分析)、PIXE(质子激发X荧光技术)基于同一粒子加速设备完成,可以在无参考标准的情况下得到高准确度的特性测量。这也使RBS成为EAG公司SIMIS(二次离子质谱)、ASE(俄歇电子谱)、XPS(X射线光电子能谱)等分析手段的补充,进一步增强了EAG在加速分析服务领域的领先地位。

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