老古开发网首页
导航:老古开发网首页文章索引文章分类综合电子→[刻蚀系统Tactras]
| -文章搜索 - 最新文章 - |

刻蚀系统Tactras

发布时间:2006年4月21日 点击次数:263
来源:半导体国际   作者:
 
       新一代的刻蚀系统Tactras在300mm硅片传送中能够延续真空状态。利用有滑行装置的钟摆型运动手臂,在同一个平台上最多可以装配6个工艺腔室,设备有能力满足干法刻蚀后的各项工艺需求。Tactras具有尺寸小,省能源的优点,而且和Telius的产能相近。公司研发的“设备操作支持功能”方便了设备的操作性并提高了产能;新近又推出了“设备停止时的硅片保障功能”。对于刻蚀绝缘材料工艺的腔室,安装是一个接着一个的。



       okyo Electron Limited www.tel.com

       Booth: 3433

欢迎进入老古论坛进行讨论
[综合电子] 相关文章:
机载真空干泵
简介:
为了响应现代半导体工业对真空干泵的通用性,低耗能,高稳定性和高性能的要求,BOC Edwards推出了新一代的GX系列真空干泵。GX Series主要适用于轻度和中度的硅半导体和复合半导体应用。由于GX泵紧凑的结构和低振动等特性,它能灵活地被安装在机台里,机台边或远离机台的地方。与之前的IQ和IH系列真空泵相比,GX减少了占地面积和能源消耗,从而降低了运行成本。GX是专为更高要求的300mm工艺设计的,但也能有效地运用在200mm的工厂。GX系列真空泵有多种型号和抽速--100, 300, 600 和 800......

光学扫描显微镜系统
VPX直立式传输平台
硅片打标系统
Vantage(R) RadOx(TM)系统
中国“芯情”
中国芯片业需要新技术支撑
精雕细琢工艺技术,保持竞争实力
可延展硅有望取代传统工艺
弛豫铁电体揭示了新的能量转换应用
 
下一个:[嵌入式系统]什么是嵌入式系统
简介:
嵌入式系统是以应用为中心,以计算机技术为基础,并且软硬件可裁剪,适用于应用系统对功能、可靠性、成本、体积、功耗有严格要求的专用计算机系统。它一般由嵌入式微处理器、外围硬件设备、嵌入式操作系统以及用户的应用程序等四个部分组成,用于实现对其他设备的控制、监视或管理等功能。 嵌入式系统一般指非PC系统,它包括硬件和软件两部分。硬件包括处理器/微处理器、存储器及外设器件和I/O端口、图形控制器等。软件部分包括操作系统软件(OS)(要求实时和多任务操作)......
 

上一个:[嵌入式系统]基于模块化设计的嵌入式软件测试方法

老古开发网版权所有 2006年9月 asp.Net V2.0 设计:老古
页面缓存:10分钟 执行时间:0毫秒