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光学扫描显微镜系统 |
| 发布时间:2006年4月21日 点击次数:256 |
| 来源:半导体国际 作者: |
SOM 1005是一个整和系统,通过输运大功率,对雷射所引起的现象达到最优及最大的灵敏度和解析度。该系统使用1064nm和1340nm 两种光源。其中1064nm的光源可以穿透背面的硅底材并激发产生电子-电洞对,而1340nm光源则可进行定点加热。SOM 1005安装有照相机,在光源缓慢扫描时,可以对背部影象进行时事记录。目前,该系统可以应用于OBIC, SCOBIC, LIVA, TIVA, SEI 和OBIRCH等技术。其中OBIC, SCOBIC和LIVA是以激发出电子-电洞为基础进行缺陷定位的技术,而TIVA, SEI 和OBIRCH则是基于热激发进行缺陷定位的。
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