真空干泵_老古开发网手机版

BOC Edwards为干净的半导体应用如L.L腔，transfer腔或ash/strip和oxide etch等工艺推出了一种小巧的机载真空干泵--EPX系列。EPX泵采用了独特的具有专利的单轴双级结构（regenerative/Holweck）以确保产生最小的振动和极小的体积。它们能从大气抽到<7x10-7 Torr的极限真空，最大抽速有180 m3h-1（106 cfm）和500 m3h-1（204 cfm）两种。EPX拥有出色的性能表现，高稳定性和低维护费用。它们能灵活地被安装在机台里或远离机台的地方。相比前一代的IPX真空干泵，EPX更轻，更小，耗电更少（只需1.4 Kw, 比IPX少33%耗电量）。