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真空干泵

发布时间:2006年3月13日 点击次数:325
来源:半导体国际   作者:
 
BOC Edwards为干净的半导体应用如L.L腔,transfer腔或ash/strip和oxide etch等工艺推出了一种小巧的机载真空干泵--EPX系列。EPX泵采用了独特的具有专利的单轴双级结构(regenerative/Holweck)以确保产生最小的振动和极小的体积。它们能从大气抽到<7x10-7 Torr的极限真空,最大抽速有180 m3h-1(106 cfm)和500 m3h-1(204 cfm)两种。EPX拥有出色的性能表现,高稳定性和低维护费用。它们能灵活地被安装在机台里或远离机台的地方。相比前一代的IPX真空干泵,EPX更轻,更小,耗电更少(只需1.4 Kw, 比IPX少33%耗电量)。



BOC EDWARDS    www.bocedwards.com  
Booth: #3613

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