Cymer公司和卡尔?蔡司SMT公司宣布合组TCZ公司，新公司将利用Cymer公司在市场上领先的准分子光源技术、卡尔?蔡司SMT公司卓越的光学系统及卡尔?蔡司IMT公司已验证的移动与控制机台能力来设计可表现低温多晶硅技术的细光束结晶的雷射回火设备。目前，两家公司基于在雷射与光学组件方面广泛的专门技术，已开发了一种能够改进薄膜晶体管显示器的低温多硅制程的生产工具。