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光罩颗粒检测系统 |
| 发布时间:2005年11月16日 点击次数:313 |
| 来源:半导体国际 作者: |
PR-PD3是一种非在线的光罩颗粒检测系统,可以避免由于检测设备的故障而导致整个生产线生产能力降低带来的烦恼。可检测到光罩图案表面的最小颗粒尺寸为0.5 mm。该系统不仅可以检测光罩（Reticle/Mask）上的颗粒,并且能够在玻璃和薄膜表面上以高速模式进行探测。先进的光学和智能识别系统,保证了颗粒识别的精确度,同时具有准确自动调整中心定位功能,先进多功能的操作软件可生成多种形式的报告,上、下表面的复查功能,低成本维护以及网络通讯等特色,适用于广大光掩膜厂和晶圆厂。
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