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真空平台

发布时间:2005年11月16日 点击次数:227
来源:半导体国际   作者:
 


  真空平台Marathon 2为90纳米到45纳米以下技术节点的工艺和测试设备提供真空。设备实时自动根据轨迹修正调整真空表现,使用CenterSmart技术保证硅片在真空中的精确放置。系统支持密集型设备簇的使用模式,提供用户更为优异的表现,缩短整合和循环次数。
  Brooks Automation Inc.
  www.brooks.com. 


  


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