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Particle Measuring System

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  LASAIR II 110是一款空气悬浮颗粒计数器,它采用了激光二极管,以1.0 CFM的空气流速采样采集到的颗粒尺寸可以小至0.1mm。它可用于评估和检测微净化环境、半导体设备以及净化厂房的洁净度;在发生警报时查找并发现颗粒污染源;依靠多重采样分析监控不同区域的净化厂房以及超净工业气体的洁净度;满足在300mm晶圆厂对一些高灵敏度的移动颗粒检测的特殊需求。
  www.pmeasuring.com


  
  

来源:半导体国际   作者:  2005/9/15 0:00:00
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