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　　JVX5200是利用X射线技术，对超薄金属膜和叠层结构进行在线膜厚测量的设备。这种X射线技术对低于100 的薄膜和叠层有非常高的分辩率。还能够独立地并行测量材料密度和粗糙度。
　　www.jordanvalleysemi.com

来源:半导体国际作者: 2005/9/15 0:00:00

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