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Jordan Valley Semiconductors |
| 发布时间:2005年10月20日 点击次数:287 |
| 来源:半导体国际 作者: |
JVX5200是利用X射线技术,对超薄金属膜和叠层结构进行在线膜厚测量的设备。这种X射线技术对低于100 的薄膜和叠层有非常高的分辩率。还能够独立地并行测量材料密度和粗糙度。
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