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Freescale采用SSOI技术推动45nm-CMOS工艺

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据Reed-Electronics网站报道,Freescale Semiconductor近期发布了一种基于应力SOI(strained silicon-on-insulator)衬底材料的45nm-CMOS工艺技术。

本项技术已于本周举行的2006超导规模集成电路讨论会上进行了展示,SSOI材料是通过复合应力技术得到的。根据Freescale的结果,晶体管性能提高了30%,功耗降低了40%。

通过Freescale公司的与CMOS技术兼容的混合应力SOI技术,可以实现nFET单轴向应变的衬底放大,且pFET的性能相比于普通非应变硅也有所提高。

相关链接(英文):
http://www.reed-electronics.com/semiconductor/article/CA6343013?spacedesc=news

来源:SEMI   作者:  2006/8/1 0:00:00
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