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显微镜

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  Titan 80-300是一款分辨率<;0.7A的原子级成像的S/TEM。 为专用和可升级的失常校正系统而设计,它可使使校正器和单色仪技术用于主流纳米技术的研究。失常校正器未升级的情况下,STEM 的分辨率仅小于1.0A。校正器升级后可得到更高的分辨率。
  FEI Co.
  www.feicompany.com


来源:半导体国际   作者:  2005/8/11 0:00:00
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