Aviza RVP-300plus系统获得DRAM厂商Inotera订单

据Semiconductor Reporter网站报道，Aviza Technology Inc.近期宣布，公司获得了来自于台湾Inotera Memories Inc.公司的多台RVP-300plus系统的订单，这批设备将用于Inotera Fab 2的扩产，将被应用于90nm及下一代工艺的DRAM制程。

RVP-300plus是一款300mm圆片的熔炉，可以提供扩散和低压化学气相淀积(LPCVD)制程。该设备具有高速升温和冷却功能，这使得圆片的化学扩散和温度控制的一致性得到了提高，Aviza表示，设备的新型构造同时提高了其生产效率。

Aviza持续的成功保持了其全球热处理市场的领先地位，Aviza热事务部门副总裁与总经理May Su表示，最近来自Inotera的多台设备订单，以及其他RVP-300plus订单表明，全球对于该产品的持续需求。